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Datos del producto:
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| Tamaño máximo del producto: | Oferta de 8 pulgadas o menos | Dimensiones del equipo: | 970 mm x 1450 mm x 2024 mm (ancho x profundidad x altura) |
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| Gama de temperaturas de calefacción: | Temperatura ambiente ~ 800 °C (termopar) 800 °C ~ 1250 °C (pirómetro infrarrojo) | Tasa de calentamiento: | Wafer desnudo a 150 °C/s 20 °C/s portador de carburo de silicio |
| Uniformidad de la temperatura: | Se aplicará el método de medición de la temperatura en el caso de las emisiones de gases de efecto i | Repetibilidad del control de temperatura: | ± 1°C |
| Duración de la temperatura constante: | Programable de acuerdo con los requisitos | ||
| Resaltar: | Aumentar la producción de procesamiento térmico rápido,Sistema de recocido de procesamiento térmico rápido |
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El procesamiento térmico rápido es un horno de recocido rápido de obleas de 8 pulgadas semiautomático vertical, que utiliza dos capas de lámparas halógenas infrarrojas como fuentes de calor para el calentamiento.La cavidad interna de cuarzo está aislada y aislada, y la cubierta exterior de la cavidad está hecha de aleación de aluminio refrigerada por agua, lo que garantiza un calentamiento uniforme del producto y una baja temperatura superficial.
El procesamiento térmico rápido adopta el control PID, y el sistema puede ajustar rápidamente la potencia de salida de las lámparas halógenas infrarrojas, lo que hace que el control de temperatura sea más preciso.
Calentamiento del tubo de la lámpara de halógenos de doble capa infrarroja, refrigeración rápida del nitrógeno;
Disposición agrupada de tubos de lámparas desarrollada de forma independiente para mejorar la uniformidad de la temperatura;
Control por algoritmo PID, ajuste en tiempo real de la potencia de salida de la lámpara;
Las cuentas de usuario se dividen en tres niveles de permisos para una gestión conveniente de la información;
La interfaz principal del software puede mostrar en tiempo real parámetros tales como gas, temperatura, grado de vacío, etc.;
El sistema guarda automáticamente la información pertinente para cada proceso.
Reconocer automáticamente los mensajes de error y proteger el dispositivo automáticamente en caso de anomalías:
Detección de sobrecalentamiento: la temperatura de la aleación de aluminio refrigerada por agua en la cubierta exterior de la cámara supera los 70 °C.
Detección del termoparejo: durante el proceso del sistema, el valor de monitorización del termoparejo no coincide con el valor establecido.
Detección de calor: potencia de salida anormal durante el calentamiento.
Detección del candado de la puerta del horno: comprobar si el candado de la puerta está cerrado antes de cada proceso.
Detección de gas: la presión del gas excede el rango establecido, la presión del gas es demasiado alta o demasiado baja.
Detección del caudal de agua: el caudal de entrada es inferior al valor predeterminado.
Detección de fugas: se ha detectado una fuga.
Interruptor de parada de emergencia: detener inmediatamente el proceso y cortar la fuente de calor.
Recalentamiento por implantación iónica
Anulación rápida después del recubrimiento ITO
el óxido
Crecimiento de nitruro
Refrigerante de aleaciones de silicuros
Proceso de arseniuro de galio
De aleación rápida de contacto ómico
Reflujo oxidativo
Otros procesos de tratamiento térmico rápido de semiconductores
| El RTP-SA-8 | |
| Tamaño máximo del producto | Oferta de 8 pulgadas o menos |
| Dimensiones del equipo | 970 mm x 1450 mm x 2024 mm (ancho x profundidad x altura) |
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Rango de temperatura de calefacción |
Temperatura ambiente ~ 800 °C (termopar) 800 °C a 1250 °C (pirómetro infrarrojo) |
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velocidad de calefacción |
Wafer desnudo a 150 °C/s Contenedor de carburo de silicio a 20 °C/s |
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Uniformidad de la temperatura
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Se aplicará el método de medición de la temperatura en el caso de los vehículos de la categoría A. ≥ 500 °C, uniformidad ≤ ± 1% |
| Repetibilidad del control de temperatura | ± 1°C |
| Duración de la temperatura constante | Programable de acuerdo con los requisitos |
Configuración estándar
| Número | Nombre | Modelo de especificación | Descripción del rendimiento/parámetro | Cantidad | Unidad |
| 1 | Procesamiento térmico rápido | El RTP-SA-8 |
Dimensiones exteriores: 970*1450*2024 (ancho x profundidad x altura) |
1 | conjunto |
| En el caso de los | Cuerpo del horno | El LT-08 | Cámara de aleación de aluminio recubierta de oro refrigerada por agua | 1 | conjunto |
| (2) El | Cámara de vacío | SQ-08 | Cavidad de cuarzo de alta pureza | 1 | conjunto |
| (3) El | Tubo de halógeno | D8 a 20 | 2 kW por pieza | 33 | pieza |
| El artículo 4 | Cuartz de apoyo | SJ-08 | Cuarzo de alta pureza (8 ") | 1 | conjunto |
| (5) | Anillo de grafito | - - - | el grafito | 1 | conjunto |
| (6) | Termócouple para la medición de temperatura | Se trata de la K-08G | Tipo K ± 1,5°C o ± 0,4% t | 2 | conjunto |
| (7) | Computadoras industriales | Se trata de un artículo de la Directiva 2008/57/CE. | Control industrial de la décima generación i5 1 conjunto | 1 | conjunto |
| (8) | pantalla de visualización | / | 21Pantalla de 5 pulgadas | 1 | pieza |
| (9) | CFC |
MC-1601L (((10L), El número de unidades de carga de las unidades de carga de las unidades de carga de las unidades de carga de las unidades de carga de las unidades de carga de las unidades de carga. |
Se aplican las siguientes medidas: Reservar una tubería de gas para un total de 5 tuberías de gas |
5 | conjunto |
| 10 | Refrigerador | KBE-5A | Potencia de refrigeración: 14,8 kW | 1 | pieza |
| 11 | bomba de vacío | El SP600 | Velocidad de la bomba 522L/min | 1 | conjunto |
| 12 | Pirómetro infrarrojo | / | / | 1 | conjunto |
2.3.Consumibles comunes
| Número | Nombre | Modelo de especificación | Unidad | Ciclo de mantenimiento |
| 1 | Anillo de grafito | El RTP-SiC-8 | La EA | Reemplazo dañado |
| 2 | Tableros de cuarzo | RTP-QC-8 y sus componentes | La EA | Reemplazo dañado |
| 3 | Cuartz de apoyo | RTP-QS-8 y sus componentes | La EA | Reemplazo dañado |
| 4 | Cuarzo | RTP-QT-8 | La EA | Reemplazo dañado |
| 5 | Tubo de lámpara | RTP-HT-8 | La EA | 2000 horas |
| 6 | Anillo O | RTP-O-8 | La EA | un año |
| 7 | Termócouple de tipo K | El KT-800 | La EA | 3 meses |
| 8 | Mantenimiento de la bomba de vacío | / | La EA | un año |
| 9 | Verificación de las CPM | / | La EA | un año |
Persona de Contacto: Xiwen Bai (Ciel)
Teléfono: +8613372109561
