sistema de recocido termal rápido de 150m m con tres gases de proceso de los sistemas

Sistema de recocido termal rápido de RTP-150RL con tres gases de proceso de los sistemas

RTP-150RL:
Está en la atmósfera de la protección del sistema el recocido rápido manual de escritorio, con la oblea de calefacción ligera visible o la muestra infrarroja de la pieza única, tiempo corto del proceso, precisión de control da alta temperatura, conveniente para la oblea de la pulgada 2-6. Su diseño único de la cavidad, tecnología avanzada del control de la temperatura y un sistema de control único del software RL900 sobre sistemas de recocido convencionales del horno de difusión asegura la uniformidad termal excelente comparada con otros sistemas del RTP.

Características de producto:

1. Calefacción infrarroja del tubo de la lámpara del halógeno, refrescándose usando la refrigeración por aire.

2. El control de la temperatura del PID del poder del tubo, puede controlar exactamente la calefacción de la temperatura, para asegurar buena uniformidad de la reproductibilidad y de la temperatura.

3. Se adopta el método paralelo de la toma de aire, y la entrada del gas se fija en la superficie de la oblea para evitar puntos fríos durante el proceso de recocido y para asegurar la buena uniformidad de la temperatura del producto.

4. El aire y los métodos de tratamiento del vacío se pueden seleccionar, antes del tratamiento de la purificación del gas del aire de entrada.

5. Estándar con tres sistemas de gases de proceso.

6. El tamaño máximo de una sola muestra mensurable de la oblea es 6 pulgadas (150m m).

7. Las medidas de seguridad triples de protección de apertura de la temperatura de la seguridad del horno, de protección de la autoridad de la abertura del regulador de temperatura y de protección de la seguridad de la parada de emergencia del equipo se adoptan para asegurar la seguridad de instrumentos.