|
Datos del producto:
|
| Nombre de producto: | Oblea sic epitaxial | Crystal Form: | 4h |
|---|---|---|---|
| Diámetro: | 150,0 mm+0,0/-0,2 mm | Orientación superficial: | {0001}±0,2° |
| Longitud del borde de referencia principal: | Muesca | Longitud del borde de referencia secundario: | Sin bordes de subreferencia |
| Resaltar: | Oblea SiC 4H de 150 mm,Sustrato SiC 350um,Oblea SiC 4H de 6 pulgadas |
||
Sustrato 4H-SiC de 6 pulgadas Nivel D Tipo SI 350,0±25,0 μm MPD≤5/cm2 Resistividad≥1E5Ω·cm para dispositivos de potencia y microondas
Descripción general
Dimensionado para mejorar la producción
Con el tamaño de oblea de 150 mm, ofrecemos a los fabricantes la capacidad de aprovechar economías de escala mejoradas en comparación con la fabricación de dispositivos de 100 mm.Nuestras obleas de SiC de 150 mm ofrecen excelentes características mecánicas para garantizar la compatibilidad con los procesos de fabricación de dispositivos existentes y en desarrollo.
|
Sustrato semiaislante 4H-SiC de 6 pulgadas |
|||
| Rendimiento del producto | PAG | D | |
| forma de cristal | 4H | ||
| politípico | No permitido | Área≤5% | |
| Densidad de microtubosa | ≤0,5/cm2 | ≤5/cm2 | |
| Seis cuadrados vacíos | No permitido | Área≤5% | |
| Cristal híbrido de superficie hexagonal | No permitido | ||
| envoltorioa | Área≤0.05% | N / A | |
| Resistividad | ≥1E9Ω·cm | ≥1E5Ω·cm | |
|
(0004)XRD Ancho de media altura de la curva oscilante (FWHM) |
≤45 segundo de arco |
N / A |
|
| Diámetro | 150,0 mm+0,0/-0,2 mm | ||
| Orientación de la superficie | {0001}±0,2° | ||
| Longitud del borde de referencia principal | Muesca | ||
| Longitud del borde de referencia secundario | Sin bordes de subreferencia | ||
| Orientación de la muesca | <1-100>±1° | ||
| ángulo de muesca | 90° +5°/-1° | ||
| Grado de profundidad de la muesca | Desde el borde 1 mm +0,25 mm/-0 mm | ||
| preparación de la superficie | Cara C: Acabado de espejo, Cara Si: Pulido mecánico químico (CMP) | ||
| El borde de la oblea | chaflán de borde de oblea | ||
|
Rugosidad de la superficie (10 μm × 10 μm)
|
Cara Si Ra≤0,2 nm Cara C Ra≤0,5 nm
|
||
| espesor |
350,0 μm±25,0 μm
|
||
| LTV (10 mm × 10 mm)a |
≤2 µm
|
≤3 µm
|
|
| TTVa |
≤6 µm
|
≤10 µm
|
|
| Arcoa |
≤25 µm
|
≤40 µm
|
|
| Deformacióna |
≤40 µm
|
≤60 µm
|
|
| Borde roto/hueco | No se permiten bordes colapsados de una longitud y una anchura de ≥0,5 mm | ≤2 y cada largo y ancho de ≤1,0 mm | |
| rascara | ≤5Y la longitud total es≤ 0,5 veces el diámetro | ≤5, y la longitud total es≤1,5 veces el diámetro | |
| defecto | no permitido | ||
| contaminación | no permitido | ||
| Eliminación de bordes |
3 mm |
||
Observación: se utiliza una exclusión de borde de 3 mm para los elementos marcados cona.
Sobre nosotros
Nos especializamos en el procesamiento de una variedad de materiales en obleas, sustratos y piezas de vidrio óptico personalizadas. Componentes ampliamente utilizados en electrónica, óptica, optoelectrónica y muchos otros campos.También hemos estado trabajando en estrecha colaboración con muchas universidades, instituciones de investigación y empresas nacionales y extranjeras, proporcionando productos y servicios personalizados para sus proyectos de I+D.Nuestra visión es mantener una buena relación de cooperación con todos nuestros clientes gracias a nuestra buena reputación.
Preguntas más frecuentes
P: ¿Es una empresa comercial o fabricante?
Somos fábrica.
P: ¿Cuál es su tiempo de entrega?
Generalmente es de 3 a 5 días si los productos están en stock.
o es de 7 a 10 días si los productos no están en stock, depende de la cantidad.
P: ¿Proporcionan muestras?¿Es gratis o extra?
Sí, podemos ofrecer la muestra de forma gratuita, pero no pagamos el costo del flete.
P: ¿Cuáles son sus condiciones de pago?
Pago <=5000USD, 100% por adelantado.
Paymen> = 5000 USD, 80% T/T por adelantado, saldo antes del envío.
Persona de Contacto: Xiwen Bai (Ciel)
Teléfono: +8613372109561
