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Datos del producto:
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Crystal Form: | 4h | Contaminación de superficies metálicas: | (Al, Cr, FE, Ni, Cu, Zn, Pb, Na, K, Ti, Ca, V, manganeso) ² del cm⁻ ≤1E11 |
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Nombre de producto: | N-tipo del substrato de 6inch 4H-SiC | Diámetro: | 150.0m m +0mm/-0.2mm |
Orientación superficial: | De fuera del eje: ° de 4°toward <11-20>±0.5 | Longitud plana primaria: | 47,5 mm ±1,5 mm |
Resaltar: | Tipo sic epitaxial substrato de N,oblea 150.0m m de 6 pulgadas,tipo substrato de 6inch N |
N-tipo resistencia MPD≤0.5/cm2 0.015Ω del grado los 350.0±25.0μm de P-SBD del substrato de 6inch 4H-SiC•cm-0.025Ω•cm para el poder y Microw
N-tipo del substrato de 6inch 4H-SiC
Descripción
El carburo de silicio (sic) es actualmente ampliamente utilizado para los usos del poder más elevado MMIC. Sic también se utiliza como substrato para el crecimiento epitaxial de GaN para incluso los dispositivos de la mayor potencia MMIC. Dispositivos des alta temperatura. Porque sic tiene una alta conductividad termal, sic disipa calor más rápidamente que otros materiales del semiconductor.
Propiedad |
Grado P-MOS | Grado de P-SBD | Grado de D |
Crystal Form | 4H | ||
Polytype | Ningunos permitieron | El Area≤5% | |
(MPD) a | ≤0.2 /cm2 | ≤0.5 /cm2 | ≤5 /cm2 |
Placas del hex. | Ningunos permitieron | El Area≤5% | |
Polycrystal hexagonal | Ningunos permitieron | ||
Inclusiones a | El Area≤0.05% | El Area≤0.05% | N/A |
Resistencia | 0.015Ω•cm-0.025Ω•cm | 0.015Ω•cm-0.025Ω•cm | 0.014Ω•cm-0.028Ω•cm |
(EPD) a | ≤4000/cm2 | ≤8000/cm2 | N/A |
(TED) a | ≤3000/cm2 | ≤6000/cm2 | N/A |
(BPD) a | ≤1000/cm2 | ≤2000/cm2 | N/A |
(TSD) a | ≤600/cm2 | ≤1000/cm2 | N/A |
Falta de amontonamiento | Área del ≤0.5% | Área del ≤1% | N/A |
Contaminación de metal superficial |
(Al, Cr, FE, Ni, Cu, Zn, Pb, Na, K, Ti, Ca, V, manganeso) ≤1E11 cm-2 |
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Diámetro | 150,0 milímetros +0mm/-0.2mm | ||
Orientación superficial | De fuera del eje: ° <11-20>de 4°toward ±0.5 | ||
Longitud plana primaria | 47,5 milímetros de ± 1,5 milímetros | ||
Longitud plana secundaria | Ningún plano secundario | ||
Orientación plana primaria | To±1° paralelo<11-20> | ||
Orientación plana secundaria | N/A | ||
Misorientation ortogonal | ±5.0° | ||
Final superficial | C-cara: Polaco óptico, Si-cara: CMP | ||
Borde de la oblea | El biselar | ||
Aspereza superficial (el 10μm×10μm) |
Cara Ra≤0.20 nanómetro del Si; Cara Ra≤0.50 nanómetro de C | ||
Grueso a | μm 350.0μm± 25,0 | ||
LTV (10mm×10m m) a | ≤2μm | ≤3μm | |
(TTV) a | ≤6μm | ≤10μm | |
(ARCO) a | ≤15μm | ≤25μm | ≤40μm |
(Deformación) a | ≤25μm | ≤40μm | ≤60μm |
Microprocesadores/mellas | Ningunos permitieron anchura y profundidad de ≥0.5mm | Anchura y profundidad de Qty.2 ≤1.0 milímetro | |
Rasguños a (Cara del Si, CS8520) |
≤5 y diámetro acumulativo de Length≤0.5×Wafer |
≤5 y Length≤1.5×Wafer acumulativo Diámetro |
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TUA (2mm*2m m) | el ≥98% | el ≥95% | N/A |
Grietas | Ningunos permitieron | ||
Contaminación | Ningunos permitieron | ||
Propiedad | Grado P-MOS | Grado de P-SBD | Grado de D |
Exclusión del borde | 3m m |
Observación: la exclusión del borde de 3m m se utiliza para los artículos marcados con el A.
Sobre nosotros
Nos especializamos en el proceso de una variedad de materiales en las obleas, los substratos y parts.components de cristal óptico modificado para requisitos particulares ampliamente utilizados en electrónica, la óptica, la electrónica opta y muchos otros campos. También hemos estado trabajando de cerca con muchos nacionales y las universidades, las instituciones de investigación y las compañías de ultramar, proporcionan productos modificados para requisitos particulares y los servicios para sus proyectos del R&D. Es nuestra visión a mantener una buena relación de la cooperación con nuestros todos los clientes por nuestras buenas reputaciones.
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Pago <>
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